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芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运

2025-11-26 10:24分享至
36氪获悉,上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200)正式完成出厂调试与验收,启程发往客户现场,标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。原文链接

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